集成電路生產中可能接觸到的主要污染物有微粒雜質、無機離子、有機物質、微生物以及氣體雜質等。從廣義上說,不適宜的溫度、濕度、照度、超過限度的靜電、電磁噪聲、空氣噪聲以及微振動等,也都是特殊的污染物。
其中,微粒雜質、無機離子、有機物質、微生物以及氣體雜質的數量超過一定限度時,就會使集成電路產品發生表面擦傷、圖形斷線、短路、針孔、剝離等現象,導致電路漏電、電特性異常。輕者影響電路性能和使用壽命,嚴重時可導致電路報廢。不適宜的溫度、濕度、照度和超限的靜電,振動和噪聲不僅影響工藝設備的加工精度和使用壽命,而且也會影響操作人員的情緒,進而影響集成電路產品質量、生產效率和成品率。由于污染問題造成產品失效的比例可能高達60%以上。.
集成電路生產(分為光掩膜、前道工序、后道工序),顯示器生產(分為LCD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料 生產(單晶硅、多晶硅),光纖生產,制卡業,表面貼裝(SMT),分離器件生產(功率一、二、三級管,電容、電阻),整機組裝生產(機頂盒、數字投影儀、電子數碼相機),自控元器件生產(傳感器、執行機構)等。微電子工業是當前對潔凈室要求較高工業潔凈業-如現代工業中的液晶、光纖等的生產,同樣均有潔凈度的要求。
電子潔凈車間一般要求潔凈度在10萬級標準以上的車間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算。根據潔凈度不同分為100級(小于3.5個),1000級(小于35個),10000級(小于350個),100000級(小于3500個)。
電子潔凈工程凈化原理示意圖:
電子潔凈工程凈化參數:??
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